一、平台介绍
广东省科学院半导体研究所微纳加工平台面向国家和广东省的战略需求和产业发展,致力于在微纳加工领域打造前沿性、支撑性、开放性的创新实验室,建设成为具有较大影响力的技术服务示范平台。
为满足平台发展的需要,现面向海内外引进青年科研人才,欢迎加盟!
二、带头人介绍
刘宁炀,现为广东省科学院半导体研究所微纳加工平台负责人,高级工程师。于2012年获北京大学博士学位,入选广州珠江科技新星。研究方向涉及第三代半导体、MEMS工艺,先后获国家重点研发计划、广东省科技计划、广东省自然基金等项目支持,在国际学术期刊发表论文40余篇,获得国内外发明专利授权10项。
三、现有主要研究方向
纳米图形化工艺开发 AlGaN基深紫外LED芯片工艺开发 GaN基功率器件电子芯片工艺开发 MEMS器件工艺开发