广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一。
主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。在第三代氮化物半导体领域具备贯穿全产业链的研发与中试支撑能力，在集成电路领域具备设计、封装、评测等多点支撑能力。拥有近5000平方米的研发基地，其中超净实验室超1000平方米，拥有MOCVD等100多台／套关键设备，设备总价值过亿元。目前已建立材料外延、微纳加工、封装应用、分析测试四大科研平台，硬件条件达到国际先进水平，是国内第三代宽禁带半导体材料研究的重要基地，也是国内少数拥有完整半导体工艺链的研究平台之一，并且具备2－6英寸第三代半导体产业技术的中试能力。
微纳加工平台（MicroNanoLab）面向广东社会经济发展需求，致力于打造前沿性、支撑性、开放性的微纳加工领域创新实验室。平台拥有半导体器件制备工艺所需的整套仪器设备，建立了一条实验研发线和一条中试线，加工尺寸覆盖2-6英寸（部分8英寸），同时形成了一支与硬件设备有机结合的专业人才队伍。
平台主要功能是提供微纳加工领域的技术创新和公共服务，可支撑半导体光电子器件、功率电子器件、MEMS、以及生物传感器等芯片制备以及技术验证。
平台对国内外高校、科研院所以及企业提供开放共享，可为技术咨询、创新研发、技术验证以及产品中试提供全方位的支持，欢迎来信来电洽谈合作（曾工 15018420573 zengzhaohui@gdisit.com）。
