台阶仪-微纳加工平台

镀膜工艺

磁控溅射电子束蒸发金属电子束蒸发 ITO电子束蒸发热阻蒸发 PECVD LPCVD ALD沉积铜电镀台

一、信息详情：

设备名称：台阶仪

设备型号：DektakXT

设备厂商：德国Bruker

工作原理：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。

用途：用于半导体、MEMS等领域晶圆或者器件台阶形貌的测量分析。

二、技术性能指标：

1.扫描长度： 50µm-55mm

2.垂直测量范围： 1mm

3.台阶高度重现性5Å, 1σ 在1µm台阶上

4.垂直分辨率：最大1Å（6.5µm范围）

5.探针压力：1－15mg 最小可达0.03mg

6.探针曲率半径：0.2 μm ，2μm

7.样品台尺寸：8英寸往下兼容

工 艺 能 力