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工 艺 能 力

PROCESS CAPABILITY

一、信息详情:

设备名称:四探针电阻率测量仪

设备型号: SB100A/20A

设备厂商:上海乾峰

工作原理:光学显微镜是利用光学原理,通过目镜和物镜将微观的图形进行放大,以便进行观察。

用途:可以对导体/半导体薄膜样品的电阻和电阻率进行测试及研究。

二、技术性能指标:

1.直流电压源:输出电压范围  0~50V 分20mV、200mV、2V、20V、50V五档,每档输出电压可连续调节,最高分辨力为1µV,基本误差为0.1%。

2.直流电流源:输出电流范围  0~200mA 分20µA、200µA、2mA、20mA、200mA五档,每档输出电流可连续调节。

3.最高分辨力为1nA,基本误差为0.03%。

4.可测量0~1000V直流电压 具有200mV、2V、20V、200V、1000V五档量程,最高分辨力为0.1µV,基本误差为0.003%。

5.测量范围:10-6-106Ω。