光学显微镜-微纳加工平台

曾老师 15018420573

曾老师 15018420573 广州市天河区长兴路363号

工艺能力

PROCESS CAPABILITY

镀膜工艺

磁控溅射电子束蒸发金属电子束蒸发 ITO电子束蒸发热阻蒸发 PECVD LPCVD ALD沉积铜电镀台

一、信息详情：

设备名称：光学显微镜

设备型号：DM 4000 M LED

设备厂商：徕卡

工作原理：光学显微镜是利用光学原理，通过目镜和物镜将微观的图形进行放大，以便进行观察。

用途：用于通过目镜或者软件观察器件表面形貌。

二、技术性能指标：

1.目镜固定倍率X10，物镜可以最大X100

2.可进行明场和暗场观察

3.可对图形进行尺寸分析

4.样品台尺寸： 6英寸往下兼容

版图设计-电子束曝光-紫外光刻深硅刻蚀-ICP刻蚀-IBE刻蚀
电子束蒸发-磁控溅射-热阻蒸发-LPCVD镀膜晶圆键合-快速退火-晶圆切割-CMP抛光

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版图设计-电子束曝光-紫外光刻

深硅刻蚀-ICP刻蚀-IBE刻蚀

电子束蒸发-磁控溅射-热阻蒸发-LPCVD镀膜

晶圆键合-快速退火-晶圆切割-CMP抛光