版图设计-微纳加工平台

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曾老师 15018420573 广州市天河区长兴路363号

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工艺能力

PROCESS CAPABILITY

镀膜工艺

磁控溅射电子束蒸发金属电子束蒸发 ITO电子束蒸发热阻蒸发 PECVD LPCVD ALD沉积铜电镀台

器件设计：结构的几何尺寸工艺设计：制造工艺的流程版图设计结构尺寸的参数化/图形化对准标记、质量监控图形等光刻掩膜版工艺加工

版图是电路、器件设计与工艺制造之间的接口

版图是几何图形的组合，并且几何图形使用不同图层组合而成

版图包含了详详细细的对齐标志、质量检测图形

版图设计-电子束曝光-紫外光刻深硅刻蚀-ICP刻蚀-IBE刻蚀
电子束蒸发-磁控溅射-热阻蒸发-LPCVD镀膜晶圆键合-快速退火-晶圆切割-CMP抛光

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晶圆键合-快速退火-晶圆切割-CMP抛光