快速退火炉
设备名称：快速退火炉
设备型号：RTP150
设备厂商：台湾技鼎
工作原理：快速退火炉是一种材料快速加热到一定温度并维持一定时间，然后再快速降温。
用途：应用于半导体材料、器件、新材料等的快速热处理，如快速退火、合金等工艺。
技术性能指标
1．样品尺寸：6英寸及以下
2．退火温度： 100－850℃可调，控温精度1℃
3．温度均匀性：850℃下，6英寸晶圆≤±1％
4．反应气氛：真空、N2、O2、空气
