微纳加工平台面向广东社会经济发展需求，致力于打造前沿性、支撑性、开放性的微纳加工领域创新实验室。

     平台拥有半导体器件制备工艺所需的整套仪器设备，建立了一条实验研发线和一条中试线，加工尺寸覆盖2-6英寸（部分8英寸），同时形成了一支与硬件设备有机结合的专业人才队伍。

      平台主要功能是提供微纳加工领域的技术创新，可支撑半导体光电子器件、功率电子器件、MEMS、以及生物传感器等芯片制备以及技术验证。