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科研进展

Transformation of results

广东省重点领域研究计划项目“深紫外固态光源关键技术及创新应用”项目中期工作会议
发布时间:2021/9/20 15:18:00  浏览次数:792

9月17日,广东省重点领域研究计划“第三代半导体材料与器件”重点专项“深紫外固态光源关键技术及创新应用研究”项目中期工作会议在我所顺利召开。广东省科技厅高新处副处长郭秀强、广东省生产力促进中心党委书记陈志祥、广东省科学院科研部主任董军,以及项目负责人沈波教授、项目团队主要成员、项目管理单位有关人员参加会议

会议全面梳理了项目执行以来的进展,认为整体进度满足中期考核指标要求;会上并就接下来如何发挥该项目服务我省相关产业发展进行了讨论。此次会议召开,对本项目更高质量完成考核指标,实现更好绩效具有重要促进作用。

该项目由省半导体牵头,联合省内多家龙头企业和省内外相关研究机构,依托7个国家级和7个省级研发平台协同开展技术研发。项目将重点突破4英寸晶圆上的深紫外固态光源关键技术,实现深紫外固态光源衬底制备-材料外延-芯片制备-可靠封装-应用产品的全产业链贯通,加快推进传统气态汞灯的替代,并带动广东省成为深紫外固态光源相关人才聚集高地,广东省乃至全国相关产业高质量发展提供技术支撑


(供稿:先进材料平台)